Оптический измерительный прибор
в машиностроении, средство измерения, в котором визирование (совмещение границ контролируемого размера с визирной линией, перекрестием и т.п.) или определение размера осуществляется с помощью устройства с оптическим принципом действия. Различают три группы О. и. п.: приборы с оптическим способом визирования и механическим (или др., но не оптическим) способом отсчёта перемещения; приборы с оптическим способом визирования и отсчёта перемещения; приборы, имеющие механический контакт с измеряемым объектом, с оптическим способом определения перемещения точек контакта. Из приборов первой группы распространение получили проекторы для измерения и контроля деталей, имеющих сложный контур, небольшие размеры (например, шаблоны, детали часового механизма и т.п.). В машиностроении применяются проекторы с увеличением 10, 20, 50, 100 и 200, имеющие размер экрана от 350 до 800 мм
по диаметру или по одной из сторон. Т. н. проекционные насадки устанавливают на микроскопах, металлообрабатывающих станках, различных приборах. Инструментальные микроскопы (рис. 1
) наиболее часто используют для измерения параметров резьбы. Большие модели инструментальных микроскопов обычно снабжаются проекционным экраном или бинокулярной головкой для удобства визирования. Наиболее распространённый прибор второй группы - универсальный измерительный микроскоп УИМ, в котором измеряемая деталь перемещается на продольной каретке, а головной микроскоп - на поперечной. Визирование границ проверяемых поверхностей осуществляется с помощью головного микроскопа, контролируемый размер (величина перемещения детали) определяется по шкале обычно с помощью отсчётных микроскопов. В некоторых моделях УИМ применено проекционно-отсчётное устройство. К этой же группе приборов относится Компаратор интерференционный .
Приборы третьей группы применяют для сравнения измеряемых линейных величин с мерами или шкалами.
Их объединяют обычно под общим назв. Компаратор ы. К этой группе приборов относятся Оптиметр ,
Оптикатор ,
Измерительная машина , контактный интерферометр, оптический длиномер и др. В контактном интерферометре (разработан впервые И. Т. Уверским в 1947 на заводе «Калибр» в Москве) используется интерферометр Майкельсона (см. в ст. Интерферометр), подвижное зеркало которого жестко связано с измерительным стержнем. Перемещение стержня при измерении вызывает пропорциональное перемещение интерференционные полос, которое отсчитывается по шкале. Эти приборы (горизонтального и вертикального типа) наиболее часто применяют для относительных измерений длин концевых мер (См. Концевые меры) при их аттестации. В оптическом длиномере (длиномер Аббе) вместе с измерительным стержнем (рис. 2
)перемещается отсчётная шкала. При измерении абсолютным методом размер, равный перемещению шкалы, определяется через окуляр или на проекционном устройстве с помощью нониуса. Перспективным направлением в разработке новых типов О. и. п. является оснащение их электронными отсчитывающими устройствами, позволяющими упростить отсчёт показаний и визирование, получать показания, усреднённые или обработанные по определённым зависимостям, и т.п. Лит.:
Справочник по технике линейных измерений, пер. с нем., М., 1959; Оптические приборы для измерения линейных и угловых величин в машиностроении, М., 1964. Н. Н. Марков.
Большая советская энциклопедия. - М.: Советская энциклопедия . 1969-1978 .
Смотреть что такое "Оптический измерительный прибор" в других словарях:
прибор - прибор: Комплект изделий различного функционального назначения одного типа, например: ложка, вилка, нож столовый, объединенных общим художественно конструкторским решением, предназначенных для сервировки стола. Источник: ГОСТ Р 51687 2000:… …
- (от греч. optós видимый и...метр (См. ...метр)) прибор для измерения линейных размеров (относительным методом), преобразовательным элементом в котором служит рычажно оптический механизм. Рычажной передачей является в механизме качающееся… …
В технике, обобщённое название группы средств, применяемых для измерения и контроля линейных и угловых размеров деталей и готовых изделий. Технические средства с нормированными метрологическими параметрами или свойствами, предназначенные… … Большая советская энциклопедия
Резьбоизмерительные приборы, средства измерения и контроля резьбы (См. Резьба). Различают Р. и. для комплексного контроля и для измерения отдельных параметров; наружной и внутренней резьб; цилиндрической и конической резьб; ходовых винтов … Большая советская энциклопедия
Оптим етр, опт иметр м. Оптический измерительный прибор для особо точного измерения линейных размеров. Толковый словарь Ефремовой. Т. Ф. Ефремова. 2000 … Современный толковый словарь русского языка Ефремовой
интерферометр - а, м. interféromètre m., нем. Interferometer. спец. Оптический измерительный прибор, основанный на явлении интерференции. БАС 1. Интерферометрический ая, ое. Интерферомтерические измерения. БАС 1. Лекс. БСЭ 1: интерферометры; БСЭ 2:… … Исторический словарь галлицизмов русского языка
РМ 4-239-91: Системы автоматизации. Словарь-справочник по терминам. Пособие к СНиП 3.05.07-85 - Терминология РМ 4 239 91: Системы автоматизации. Словарь справочник по терминам. Пособие к СНиП 3.05.07 85: 4.2. АВТОМАТИЗАЦИЯ 1. Внедрение автоматических средств для реализации процессов СТИСО 2382/1 Определения термина из разных документов:… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
ГОСТ 24453-80: Измерения параметров и характеристик лазерного излучения. Термины, определения и буквенные обозначения величин - Терминология ГОСТ 24453 80: Измерения параметров и характеристик лазерного излучения. Термины, определения и буквенные обозначения величин оригинал документа: 121. Абсолютная спектральная характеристика чувствительности средства измерений… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
ГОСТ 15528-86: Средства измерений расхода, объема или массы протекающих жидкости и газа. Термины и определения - Терминология ГОСТ 15528 86: Средства измерений расхода, объема или массы протекающих жидкости и газа. Термины и определения оригинал документа: 26. Акустический преобразователь расхода D. Akustischer Durch flußgeber E. Acoustic flow transducer F … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
ГОСТ 22267-76: Станки металлорежущие. Схемы и способы измерений геометрических параметров - Терминология ГОСТ 22267 76: Станки металлорежущие. Схемы и способы измерений геометрических параметров оригинал документа: 25.1. Ме тоды измерения Метод 1 при помощи прибора для измерения длин при прямолинейном движении рабочего органа. Метод 2… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
К атегория:
Слесарно-инструментальные работы
Оптические измерительные приборы
В конструкции измерительной машины кроме трубки оптиметра, в которой использован принцип оптического рычага, также находят применение и другие оптические устройства, лежащие в основе конструкций ряда оптических измерительных приборов. Такие приборы получили название оптических измерительных приборов.
Оптические измерительные приборы построены на принципе исследования человеческим глазом увеличенного теневого изображения измеряемого предмета. К числу таких измерительных приборов относятся, широко применяемые в инструментальном производстве, инструментальный и универсальный микроскопы и проекторы.
Инструментальный микроскоп модели ИТ служит для измерения сложных профилей инструмента. Он состоит из оптической головки, передвигаемой вверх и вниз по стойке, стола с салазками, перемещаемых на шариках в продольном и поперечном направлениях, основания и осветительного приспособления. Стойка может при необходимости повертываться вокруг горизонтальной оси. Грубая установка оптической головки по высоте производится от руки, точная - винтом, а ее закрепление в установленном положении - винтом. Два микрометрических устройства служат для отсчета поперечного и продольного перемещения стола. Видимая на столе микроскопа рамка с центрами предназначена для закрепления деталей.
Принцип работы инструментального микроскопа состоит в следующем. От источника света лучи идут сквозь специальное устройство, называемое диафрагмой и регулирующее количество проходящего света. Отражаясь в зеркале, они проходят прозрачную пластинку мимо расположенного на столе изменяемого предмета и следуют дальше в объектив, увеличиваю-м размеры рассматриваемого контура. В дальнейшем, четыре раза преломляясь в трех призмах, лучи выходят перпендикулярно к матозому стеклянному экрану, на котором нанесены темные штрихи, и становятся видными в окуляре. В окуляре можно видеть освещенный контур измеряемого предмета, увеличенный в 30 раз.
Рис. 1. Инструментальный микроскоп.
На штриховом экране для сравнения с профилем измеряемого предмета нанесены различные профили, линии и шкалы как линейные, так и угловые. Поворачивая экран вокруг оси его вращения, можно совмещать линии этого экрана с отдельными частями профиля предмета и отсчитывать углы поворота экрана, а следовательно, размеры и углы измеряемого предмета.
Процесс измерения на описываемом приборе состоит из следующих операций:
а) установка предмета до совпадения измеряемой части профиля с определенной линией или профилем экрана;
б) перемещение предмета или экрана до совпадения второй части профиля с той же линией или профилем на экране;
в) отсчет по экрану или микрометрическим устройством произведенного перемещения предмета от одной линии экрана до другой.
При измерении углов весь процесс осуществляется с помощью оптической головки микроскопа, а при измерении длины роль оптической головки ограничивается только контролем точности установки детали и перенесением размеров; отсчет производится по микрометрическим устройствам.
Рис. 2. Оптическая схема микроскопа.
Микроскоп имеет сменные объективы с увеличением в десять, пятнадцать и тридцать раз. Его штриховые экраны также сменные.
Микроскоп имеет и специальный экран для измерения резьб, а также угломерный экран.
Рис. 3. Угломерный экран: а - общий вид: б - поле зрения бокового микроскопа А и окуляра.
В средней части угломерного экрана расположены две взаимноперпендикулярные риски, с которыми может совмещаться контур измеряемого предмета. По всей окружности экрана нанесена угловая шкала от 0 до 360° с делениями через каждый градус. Шкала рассматривается через боковой микроскоп А, в котором кроме градусной шкалы видны деления с интервалом в две минуты. Шкала бокового микроскопа с отсчетом 121°38’ показана на рис. 3, б.
Точность проверки угловых величин на инструментальном микроскопе составляет + 1-2’, а линейных измерений + 0,005 мм. Чтобы обеспечить необходимую точность, нужно получить максимальную резкость изображения. Это достигается соответствующей регулировкой диафрагмы и правильной установкой оптической головки по высоте.
Универсальный измерительный микроскоп (типа УИМ -21) представляет собой комбинацию инструментального микроскопа и оптической измерительной машины. Он дает возможность проверять детали значительных диаметров и длины (размеры 200 X ЮО) и точнее определять линейные размеры с помощью оптических устройств. Линейная точность отсчета на его шкалах составляет 0,001 мм, угловая Г.
Универсальный микроскоп состоит из станины с вертикальной -тойкой для закрепления головки, снабженной штриховыми и угломерными экранами, стола, перемещающегося в поперечном направлении, каретки с центровыми бабками, передвигаемой в продольном направлении, оптических устройств, фиксирующих величину перемещения каретки и стола, и наконец, осветительного устройства.
Рис. 4. Отсчет
Рис. 5. Отсчет линеиных перемещении в универсальном микроскопе.
Высокая точность линейных перемещений стола и каретки гарантируется двумя микроскопами, установленными на станине прибора. В окуляре любого из них глаз видит изображение, показанное в окружности на рис. 4. Это изображение есть результат одновременного рассматривания через окуляр подвижной и неподвижной пластинок, установленных в микроскопе, и шкалы, находящейся на каретке или столе микроскопа. Пластинки и шкала изготовлены из стекла и освещены снизу электрической лампочкой.
Во время передвижения стола шкала с делениями перемещается вместе со столом и кареткой и дает возможность отсчитывать величину передвижения в миллиметрах. Перемещение в десятых долях миллиметра отсчитывается по делениям стеклянной неподвижной пластинки, установленной в микроскопе. Отсчет сотых и тысячных Долей производится по шкале подвижной пластинки. Для этой цели поворотом подвижной пластинки устанавливают одну из пар спиральных линий так, чтобы миллиметровое деление, видимое на 8* рис. 56, оказалось по середине между рисками этой пары спиральных линий. Сумма показаний шкал, т. е. количество миллиметров, видимых на фоне спиральных линий, количество десятых долей на поперечном указателе неподвижной пластинки и сотые, и тысячные, приходящиеся против этого поперечного указателя, дадут точное положение стола или каретки по отношению к оси микроскопа.
лов и линейных размеров и устроены так же, как, устроен угломерный экран инструментального микроскопа. Вторые окуляр и экран служат для определения правильности углов профиля, высоты, притуплений и закруглений у резьбы. Этот
экран представляет собой стеклянный диск с профилями резьбы различных систем и шагов. Совмещая профили экрана с теневым изображением исследуемой под микроскопом резьбы, оценивают правильность ее выполнения.
Проекторами называют оптические измерительные приборы, дающие увеличенное изображение профиля исследуемого предмета на экране. Эти приборы очень производительны и характеризуются точностью отсчета до 5 мк, а увеличение измеряемого профиля в приборах составляет 10, 20 и 50, в зависимости от силы сменного объектива.
Большой проектор модели БП, схема работы которого показана на фигуре, состоит из проектирующего устройства, объектива зеркала и экрана. Источник света, помещенный в проектирующем устройстве, посылает лучи света, которые попадают на край детали и частично задерживаются. Прошедшие же контур детали лучи попадают в объектив и идут дальше на отражательное,устройство (зеркало), а затем попадают на экран, где и образуют увеличенное теневое изображение контура проверяемого предмета, видимое иа светлом фоне. Теневое изображение может быть сравнено с вычерченным на прозрачной бумаге или экране изображением того контура, который следует выполнить у детали. Результаты измерения могут быть получены не только в виде тени, но и в виде чисел. Для этой цели экран снабжается двумя взаимноперпендику-лярными рисками, а стол - микрометрическими, поворотными устройствами и соответствующими нониусами.
Рис. 6. Схема действия проектора.
При работе на проекторе следует учитывать, что слишком большое увеличение, хотя и дает большую точность, все же ослабляет резкость изображения. Поэтому здесь выбирают такое увеличение, которое позволит четко наблюдать профиль измеряемого предмета.
Известны три группы оптических измерительных приборов.
1. Приборы с оптическим способом визирования и механическим (или др., но не оптическим) способом отсчёта перемещения;
2. Приборы с оптическим способом визирования и отсчёта перемещения;
3. Приборы, имеющие механический контакт с измеряемым объектом, с оптическим способом определения перемещения точек контакта.
Из приборов первой группы распространение получили проекторы для измерения и контроля деталей, имеющих сложный контур, небольшие размеры (например, шаблоны, детали часового механизма и т.п.). В машиностроении применяются проекторы с увеличением 10, 20, 50, 100 и 200, имеющие размер экрана от 350 до 800 мм по диаметру или по одной из сторон. Т. н. проекционные насадки устанавливают на микроскопах, металлообрабатывающих станках, различных приборах. Инструментальные микроскопы (рис. 1) наиболее часто используют для измерения параметров резьбы. Большие модели инструментальных микроскопов обычно снабжаются проекционным экраном или бинокулярной головкой для удобства визирования.
Инструментальные микроскопы наиболее часто используют для измерения параметров резьбы. Большие модели инструментальных микроскопов обычно снабжаются проекционным экраном или бинокулярной головкой для удобства визирования.
Инструментальный микроскоп: 1 - головка со штриховой продольной сеткой; 2 - стойка; 3 - микропара; 4 - стол для установки детали.
Наиболее распространённый прибор второй группы - универсальный измерительный микроскоп УИМ, в котором измеряемая деталь перемещается на продольной каретке, а головной микроскоп - на поперечной. Визирование границ проверяемых поверхностей осуществляется с помощью головного микроскопа, контролируемый размер (величина перемещения детали) определяется по шкале обычно с помощью отсчётных микроскопов. В некоторых моделях УИМ применено проекционно-отсчётное устройство. К этой же группе приборов относится компаратор интерференционный.
Приборы третьей группы применяют для сравнения измеряемых линейных величин с мерами или шкалами. Их объединяют обычно под общим назв. компараторы. К этой группе приборов относятся оптиметр,оптикатор,измерительная машина, контактный интерферометр, оптический длиномер и др. В контактном интерферометре (разработан впервые И. Т. Уверским в 1947 на заводе «Калибр» в Москве) используется интерферометр Майкельсона (см. в ст. Интерферометр), подвижное зеркало которого жестко связано с измерительным стержнем. Перемещение стержня при измерении вызывает пропорциональное перемещение интерференционные полос, которое отсчитывается по шкале. Эти приборы (горизонтального и вертикального типа) наиболее часто применяют для относительных измерений длин концевых мер при их аттестации. В оптическом длиномере (длиномер Аббе) вместе с измерительным стержнем (рис. 2)перемещается отсчётная шкала. При измерении абсолютным методом размер, равный перемещению шкалы, определяется через окуляр или на проекционном устройстве с помощью нониуса.
Оптический длиномер: 1 - проекционное устройство; 2 - измерительный стержень; 3 - измеряемая деталь.
Апертура (лат. apertura - отверстие) в оптике - характеристика оптического прибора, описывающая его способность собирать свет и противостоять дифракционному размытию деталей изображения. В зависимости от типа оптической системы эта характеристика может быть линейным или угловым размером. Как правило, среди деталей оптического прибора специально выделяют так называемую апертурную диафрагму, которая сильнее всего ограничивает диаметры световых пучков, проходящих через оптический инструмент. Часто роль такой апертурной диафрагмы выполняет оправа или края одного из оптических элементов (линзы, зеркала, призмы).
Оптико-механические измерительные приборы. Эти приборы находят широкое применение в измерительных лабораториях и в цехах для измерения размеров калибров, плоскопараллельных концевых мер длины, точных изделий, а также для настройки и проверки средств активного и пассивного контроля. Эти приборы основаны на сочетании оптических схем и механических передач. К оптико-механическим измерительным приборам относятся: пружинно-оптические измерительные головки (оптикаторы), оптиметры, ультраоптиметры, длиномеры, измерительные машины, интерферометры и ряд других приборов.
Рис. 2.25. Оптиметр: а - вертикальный; б - горизонтальный
Рис. 2.26. :
7 - окуляр; 2 - зеркало; 3 - трехгранная призма; 4 - стеклянная пластинка; 5- призма полного отражения; 6 - измерительный стержень; 7 - зеркало поворотное; в - объектив
Состоит из измерительной головки, называемой трубкой оптиметра, и вертикальной или горизонтальной стойки. В зависимости от вида стойки оптиметры подразделяют на вертикальные (например, ОВО-1, или ИКВ) (рис. 2.25, а) и горизонтальные (например, ОГО-1, или ИКГ) (рис. 2.25, б). Выпускают также горизонтальные и вертикальные проекционные оптиметры (ОГЭ-1 или ОВЭ-02). У последних отсчет результата измерения производится по шкале, проецируемой на экран. Вертикальные оптиметры предназначены для измерений наружных размеров деталей, а горизонтальные - для измерения как наружных, так и внутренних размеров.
В оптической схеме оптиметров использованы принципы автоколлимации и оптического рычага. Принцип действия трубки оптиметра показан на рис. 2.26. Лучи от источника света направляются зеркалом 2 в щель трубки и, преломляясь трехгранной призмой 3, проходят через шкалу, имеющую 200 делений, нанесенных на плоскость стеклянной пластинки 4. Пройдя шкалу, луч попадает на призму полного отражения 5 и, отразившись от нее под прямым углом, направляется на объектив 8 и зеркало поворотное 7. Качающееся зеркало пружиной прижимается к измерительному стержню 6. При перемещении стержня 6, опирающегося на измеряемую деталь, зеркало 7 поворачивается на угол а вокруг оси, проходящей через центр опорного шарика, что вызывает отклонение отраженных от зеркала 7 лучей на угол 2а. Отраженный пучок лучей объективом превращается в сходящийся пучок, который дает изображение шкалы. При этом шкала смещается в вертикальном направлении относительно неподвижного указателя на некоторую величину, пропорциональную измеряемому размеру. Изображение шкалы наблюдается в окуляр 1, как правило, одним глазом, что утомляет контролера. Для обеспечения отсчета на окуляр 1 надевают специальную проекционную насадку, на экране которой можно наблюдать изображение шкалы обоими глазами. Основные метрологические характеристики оптиметров см. в табл. 2.9.
(рис. 2.27, а) состоит из измерительной головки и вертикальной или горизонтальной стойки. Схема работы длиномера показана на рис. 2.27, б. Конструкция длиномера соответствует принципу Э.Аббе, т. е. основная шкала является продолжением измеряемой детали 3. В пиноли 5 закреплен измерительный наконечник 4, входящий в соприкосновение с измеряемой деталью 3. Сила тяжести пиноли 5 уравновешена противовесом 1, который перемещается внутри масляного демпфера 2. Пиноль 5 соединена с противовесом стальной лентой 9, перекинутой через блоки, причем измерительная сила длиномера определяется разностью масс пиноли 5 и противовеса 1. Эта сила регулируется с помощью грузовых шайб 8. Отсчеты по стеклянной шкале 6, освещаемой источником света S, производят с помощью отсчетного микроскопа 7 со спиральным нониусом.
В настоящее время все большее распространение получают длиномеры с цифровым отсчетом, на табло которых высвечивается непосредственно измеряемый размер.
Основные метрологические характеристики оптических длиномеров см. в табл. 2.9.
Наименование и тип прибора | Цена деления шкалы, мкм | Пределы измерений по шкале, мкм | Пределы допускаемой погрешности на любом участке шкалы в пределах 100 делений, мкм | Наибольшее измерительное усилие (колебание измерительного усилия), Н | Вариация показаний, мкм |
Оптикаторы ГОСТ 28798-90: | |||||
Улътраоптиметры ИКП-2 | |||||
Оптические длиномеры: | |||||
Интерферометр мод. 264 (вертикальный) | 1,5 ± 0,10 (0,02) | ||||
1,5 ± 0,10 (0,02) | |||||
1,5 ± 0,10 (0,02) |
Рис. 2.27. Оптический длиномер [а) и схема его работы (б) :
1 - противовес; 2 - масляный демпфер; 3 - измеряемая деталь; 4 - измерительный наконечник; 5 - пиноль; 6 - стеклянная шкала; 7 - отсчетный микроскоп; 8 - грузовые шайбы; 9 - стальная лента; S - источник света
Измерительные машины (одно-, двух- и трехкоординатные) предназначены для контроля сложных корпусных деталей, деталей значительных длин, измерения расстояний между осями отверстий, лежащих в одной или разных плоскостях, контроля параметров плоских профильных шаблонов в прямоугольных и полярных координатах. Двух- и трехкоординатные измерительные машины позволяют получать цифровой отсчет с автоматической выдачей результатов измерений на ЭВМ с последующим применением полученных программ в станках с ЧПУ для обработки аналогичных деталей (обработка по моделям). Более подробно измерительные машины рассмотрены в гл. 3.
Интерферометры относятся к весьма точным оптико-механическим приборам. Они применяются в основном для проверки концевых мер длины, размеров и формы особо точных изделий и основаны на использовании явления интерференции световых волн. Интерферометры для линейных измерений подразделяются на контактные (ИКПВ - вертикальные, ИКПГ - горизонтальные) и бесконтактные. Контактные интерферометры имеют одинаковые интерференционные трубки с возможностью регулирования цены деления от 0,05 до 0,2 мкм.
В трубке интерферометра (рис. 2.28) свет от лампы 1 направляется конденсором 2 через диафрагму 3 на разделительную полупрозрачную пластину 6.
Рис. 2.28. :
1 - лампа; 2 - конденсор; 3 - диафрагма; 4 - шторка; 5 - поворотное зеркало; 6 - полупрозрачная пластина; 7 - объектив; 8 - сетка; 9 - механизм перемещения окуляра; 10 - окуляр; 11 - компенсатор; 12 - зеркало; 13 - измерительный стержень; 14 - объект измерения
Часть лучей, пройдя через полупрозрачную пластину 6 и компенсатор 11, отразится от зеркала 12, закрепленного на верхнем конце измерительного стержня 13, и через компенсатор 11 вновь вернется к полупрозрачной пластине 6. Другая часть пучка света, отразившись от рабочей поверхности разделительной полупрозрачной пластины 6, попадает на поворотное зеркало 5 и после отражения также возвратится к полупрозрачной пластине 6. Рис. 2.29. Вертикальный контактный интерферометр:
Рис. 2.29. :
1 - кронштейн; 2 - кремальера; 3 - стойка; 4 - основание; 5 - винт; 6 - винт микроподачи; 7 - стол; 8 - теплозащитный экран; 9 - хомут трубки; 10 - трубка интерферометра
Таким образом, на рабочей поверхности полупрозрачной пластины 6 обе части пучка света интерферируют при небольшой разности хода. Объектив 7 проектирует интерференционную картину полос равной толщины в плоскость сетки 8. Интерференционные полосы и нанесенную на сетку шкалу наблюдают через окуляр 10.
Интерференционные полосы равной толщины образуются в результате поворота зеркала 5 на небольшой угол относительно поверхности зеркала 12. При освещении белым светом на фоне шкалы видна одна черная (ахроматическая) полоса и по обе стороны от нее несколько окрашенных полос убывающей интенсивности. Черная полоса служит указателем при отсчетах по шкале, имеющей по 50 делений в обе стороны от нуля, который смещается пропорционально перемещению измерительного стержня 13.
Вертикальный контактный интерферометр (рис. 2.29) имеет жесткое литое основание 4 и стойку 3. По направляющей стойки может перемещаться с помощью кремальеры 2 кронштейн 1, несущий трубку интерферометра 10. На хомуте трубки 9 закреплен теплозащитный экран 8. Стол 7 можно перемещать в вертикальном направлении винтом микроподачи 6 и стопорить в установленном положении винтом 5.
Основные метрологические характеристики интерферометров см. в табл. 2.9.
В последнее время отечественная промышленность стала выпускать бесконтактные лазерные интерферометры с цифровым отсчетом. Они позволяют измерять абсолютным методом детали больших размеров (до 60 м и более) с высокой производительностью и точностью. Цена деления таких приборов составляет от 0,1 до 0,01 мкм; погрешность измерения составляет 0,5 мкм на 1 м. Принципиальная схема одной из конструкций бесконтактного лазерного интерферометра представлена на рис. 2.30.
Рис. 2.30. :
1 - источник лазерного луча; 2 - неподвижное зеркало; 3 - пластина; 4 - V-образный рефлектор; 5 - основание рефлектора; 6 - измерительный стол; 7 - основание измерительного стола; 8 - неподвижное зеркало; 9- приемник; 10 - основание; 11 - показывающий прибор; 12 - корпус
Тип микроскопа | Верхние пределы измерений, мм | Диапазон измерений плоских углов, | Линейное увеличение объективов визирного микроскопа | Цена деления шкалы барабанов микрометрических головок, мм | Цена деления шкалы наклона линии центров | Максимальный диаметр проверяемого изделия, мм | Цена деления шкалы угломерной головки | Предел основной допускаемой погрешности микроскопа в диапазоне измерений, мкм |
|
в продольном направлении | в поперечном направлении |
||||||||
1; 3; 5; 10; 20; 40х | |||||||||
ИМЦ 100x50, А | 1; 3; 5; 10; 20; 40х | 0...25 мм ± 3 мкм |
|||||||
1; 3; 5; 10; 20; 40х | 0...50 мм ± 5 мкм |
||||||||
ИМЦ 150x50, А | 1; 1,5; 3,0; 5,0х | 0... 100 мм ± 6 мкм |
|||||||
1; 1,5; 3,0; 5,0х | |||||||||
ИМЦЛ 160x80, Б | |||||||||
10; 15; 30; 50х | |||||||||
10; 15; 30; 50х | |||||||||
Поступающий от источника лазерного луча 1 пучок света полупрозрачной пластиной 3 делится на два потока. Один направляется на неподвижное зеркало 2 и, отразившись от него, возвращается к пластине 3. Другой, проходящий сквозь пластину 3, попадает на неподвижное зеркало 8. Отразившись от неподвижного зеркала 8 и V-образного рефлектора 4, пучок возвращается к пластине 3, где интерферирует с первым пучком.
При помощи лазерных интерферометров проверяют двух- или трехкоординатные измерительные машины, микроскопы, прецизионные станки и другие точные механизмы.
Оптические измерительные приборы .
Эти приборы нашли применение в измерительных лабораториях для абсолютных и относительных измерений бесконтактным методом различных изделий сложного профиля (резьб, шаблонов, кулачков, фасонных режущих инструментов) и малых габаритных размеров, для точных измерений длин, углов, радиусов. Эти приборы построены на оптических схемах. К наиболее распространенным оптическим измерительным приборам относятся: микроскопы (инструментальный, универсальный, проекционный), проекторы, оптические длиномеры и угломеры, делительные головки, столы и др.
Инструментальные и универсальные микроскопы предназначены для абсолютных измерений углов и длин различных деталей в прямоугольных и полярных координатах. В соответствии с ГОСТ 8074-82 выпускают микроскопы с микрометрическими измерителями двух типов: типа А - без наклона головки и типа Б - с наклоном головки. У микроскопов ИМ 100x50, А; ИМ 150x50, Б предусмотрен отсчет по шкалам микрометрических головок 25 мм и применение концевых мер длины, тогда, как микроскопы ИМЦ 100x50, А; ИМЦ 150x50, А; ИМ 150x50, Б; ИМЦЛ 160x80, Б оснащены цифровым отсчетом.
Универсальные измерительные микроскопы отличаются от инструментальных большим диапазоном измерений и повышенной точностью. В них вместо микрометрических измерителей применены миллиметровые шкалы с отсчетными спиральными микроскопами.
Основные метрологические характеристики указанных микроскопов представлены в табл. 2.10.
Рис. 2.31. Микроскоп инструментальный модели ММИ [а], его отсчетное устройство (б), оптическая схема микроскопа [в) :
1 - визирный микроскоп; 2 - стойка; 3 - винт; 4 - лампа подсветки; 5 и 12 - маховики; 6 и 8 - микрометрические винты; 7 - основание; 9 - измерительный стол; 10 - шариковые направляющие; 11- объектив; 13 - кронштейн; 14 - кольцо; 15 - тубус; I - миллиметровая шкала; II - круговая шкала
Несмотря на конструктивные различия инструментальных и универсальных микроскопов принципиальная схема измерения во всех микроскопах общая - визирование различных точек контролируемой детали, перемещаемых для этого по взаимно перпендикулярным направлениям, и измерение этих перемещений посредством отсчетных устройств. Для обеспечения лучшего визирования микроскопы снабжают сменными объективами различной степени увеличения.
В качестве примера рассмотрим конструкцию (рис. 2.31, а) и принцип измерения микроскопа инструментального модели ММИ. На массивном чугунном основании 7 в двух взаимно перпендикулярных направлениях на шариковых направляющих 10 перемещается измерительный стол 9 с помощью микрометрических винтов 6 и 8. Для отсчета перемещений на гильзе, скрепленной с метрической гайкой, имеется миллиметровая шкала I (рис. 2.31, б), а на барабане, связанном с микрометрическим винтом, - круговая шкала II с 200 делениями (на рис. 2.31, б показание микрометра равно 29,025). Объектив 11 с тубусом 15 установлен на кронштейне 13, который перемещается в вертикальном направлении по стойке 2. Стойка 2 с помощью маховика 5 может наклоняться у микроскопов типа Б в обе стороны для установки микроскопа под углом подъема измеряемой резьбы. Имеется лампа подсветки 4. Маховик 12, перемещающий кронштейн 13, служит для фокусировки микроскопа, причем установленное положение фиксируется винтом 3. Для точного фокусирования микроскопа вращают рифленое кольцо 14, при этом тубус 15 смещается по цилиндрическим направляющим кронштейна. К верхней части тубуса крепится сменная угломерная окулярная головка с визирным микроскопом 1 и отсчетным устройством.
Оптическая схема микроскопа представлена на рис. 2.31, в. Измеряемая деталь АБ рассматривается через объектив ОБ микроскопа. Изображение детали АБ получается действительным, обратным и увеличенным.
Глаз наблюдателя через окуляр ОК видит мнимое, обратное и еще раз увеличенное окуляром изображение детали А2Б2.
Проекторы предназначены для контроля или измерения деталей сложного контура. Проектор состоит из объектива, дающего увеличенное изображение контролируемого изделия, и экрана, на котором оно рассматривается или сравнивается с сетками или предельными контурами. Проекторы бывают с экранами, работающими в проходящем и отраженном свете. Основные метрологические характеристики этих приборов представлены в табл. 2.11.
Оптические делительные головки (рис. 2.32, а, б) служат для измерения углов, а также для разметки и нанесения делений на деталях при обработке. Прибор состоит из корпуса 8, внутри которого в подшипниках помещен шпиндель 9, отсчетного микроскопа 11 с нониусами, переднего центра 6 для установки детали, задней бабки 12 и станины 13. Поворот шпинделя отсчитывается предварительно по шкале 14, а. точно - по стеклянной шкале с помощью отсчетного микроскопа, которая жестко закреплена на шпинделе (рис. 2.32, в). Ось шпинделя может быть установлена в любое положение в пределах между горизонталью и вертикалью. Отсчет углов в этом случае ведут по шкале 14. Основные метрологические характеристики оптических делительных головок типа ОДГЭ см. в табл. 2.11.
Наименование и тип прибора | Цена деления основной шкалы (нониуса) | Цена деления отсчетного устройства | Увеличение отсчетного микроскопа | Поле зрения | Пределы показаний шкалы | Пределы измерений прибором | Предельные погрешности прибора (отсчетного устройства) |
Проекторы измерительные (ГОСТ 19795-82): | Линейной: | Дискретного цифрового отсчета: | В продольном | ||||
0 ... 100 мм, в | |||||||
поперечном | |||||||
вертикальном | |||||||
Оптические делительные головки (ТУ 3.3.199 - 80): | Основного лимба | ||||||
±(1 + sina/2) ± |
|||||||
± (2 + 2pisina/2) |
|||||||
±(5 / 5pisina/2) |
|||||||
Оптический угломер | Минутной шкалы 5" | ||||||
Автоколлиматоры визуальные (ТУ 3.3.1495 - 84): | Минутной: | Секундной шкалы: | Предел разрешающей способности | ||||
Оптические круглые столы предназначены для точных угловых измерений или поворотов на требуемые углы деталей, которые из-за Своей массы, формы и размеров не могут быть установлены в центрах или на оправках оптической делительной головки. Оптические круглые столы могут применяться также для точной разметки деталей по окружности или как точное приспособление для обработки деталей в полярной системе координат.
Для измерения наружных и внутренних углов применяют различные оптические угломеры . Величина отсчета по шкале равна 10", а допустимая погрешность ±5".
Наиболее точными угломерными приборами являются приборы, основанные на применении автоколлимационных зрительных труб. Одним из представителей таких приборов является автоколлиматор .
Он предназначен для измерения углов, измерения прямолинейности и плоскостности направляющих, а также для определения взаимного углового расположения осей и плоскостей изделий в пространстве. Кроме визуальных автоколлиматоров бывают автоколлиматоры с фотоэлектрической регистрацией результатов, например автоколлиматор АФ-2, предназначенный для измерения угловых перемещений с точностью 1",
Автоколлиматоры с фотоэлектрической регистрацией по сравнению с визуальными обеспечивают более высокую точность и скорость измерений. Основные характеристики некоторых автоколлиматоров см. в табл. 2.11.
Рис. 2.32. Оптическая делительная головка (а), ее схема (б) и стеклянная шкала (в] :
1 - тубус; 2 - лампа подсветки; 3, 4 и 74 - шкалы; 5 - поводок; В - передний центр; 7 - червячное колесо; 8- корпус; 9 - шпиндель; 10 - полусфера; 11 - микроскоп; 12 - задняя бабка; 13 - станина
В последнее время в условиях возрастающей сложности контролируемых изделий находят все более широкое применение измерительные двухкоординатные системы. Они позволяют без переустановки изделия проводить более сложные измерения его угловых и линейных размеров в прямоугольной системе координат. К этим приборам относятся измерительные микроскопы, измерительные проекторы и измерительные двухкоординатные машины.
Измерительные двухкоординатные машины (ИДМ) появились как результат естественного развития измерительных микроскопов и проекторов. Мерами в них служат штриховые или концевые меры длины, а также прецизионные измерительные винты. Эти машины характеризуются использованием высокоточных оснований, опор, направляющих и приводов для перемещения стола с изделием или измерительной головки. Результаты измерений в современных ИДМ выводятся на ЭВМ, чем достигается значительное повышение производительности измерений.
Основные метрологические характеристики оптико-механических двухкоординатных машин, их преимущества, недостатки и область применения представлены в табл. 2.12.
Тип прибора | Пределы измерений, мм | Погршность измерения | Инерционность, с | Преимущества | Недостатки | Область применения |
Измеритель ный микроскоп | х = 0...70 у = 0...50 | 1 мкм; 10 мкм; 6" | Легко переоснащаемый визуальный измерительный микроскоп для работы в проходящем и отраженном свете | Небольшое поле зрения (от 2... до 6 мм) в зависимости от увеличения | Лаборатории и производство, линейные и угловые измерения наружных и внутренних размеров |
|
Инструментальный проекционный микроскоп | х= 0...150 у = 0...75 | Можно вести наблюдения либо через окуляр, либо по экрану проектора как в отраженном, так и в проходящем свете | Дороже измерительного микроскопа | Измерительные лаборатории, измерение калибров, резьб, зубчатых колес, шаблонов, изделий сложной формы |
||
Универсальный измерительный микроскоп | х = 0...200 у = 0...100 | 0,2 мкм; 1 мкм; 30" | Высокая точность, удобство контроля резьбовых калибров-пробок, легкая переоснащаемость | Большие масса и габаритные размеры, настольный прибор | Измерительные лаборатории, линейноугловые измерения наружных и внутренних размеров |
Оптические приборы для измерения параметров шероховатости поверхности (ГОСТ 9847 - 79) основаны на принципе одновременного преобразования профиля поверхности и предназначены для измерения параметров Rmax; Rz; S по ГОСТ 2789-73. Стандартом устанавливаются следующие типы приборов: ПТС - приборы теневого сечения; ПСС - приборы светового сечения; МОМ - микроскопы однообъективные муаровые; МИИ - микроскопы интерференционные, действие которых основано на двухлучевой интерференции света; МПИ - микроскопы-профилометры интерференционные, действие которых основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.
Рис. 2.33. :
а - оптическим методом светового сечения; б - с помощью двухлучевого интерферометра; в - рефлектометрическим методом; 1 - фотоприемник (окуляр); 2 - линза; 3 - объект измерения; 4 - объектив; 5 - осветитель
Диапазоны измерений параметров шероховатости для указанных типов приборов следующие: ПТС - Rz\ S - 0,2... 1,6 мм; Rmax-40...320 мкм; МИИ - Rz; Rmax - 0,05…0,8 мкм; S - 0,002…0,05 мм; ПСС - Rz\ Rmax - 0,5 ...40 мкм; S - 0,002 ...0,5 мм; МПИ - Rz\ Rmax - 0,05…0,8 мкм; MOM - Rz\ Rmax - 0,8...40 мкм; S- 0,0005... 0,5 мм.
Оптический метод светового сечения (рис. 2.33, а) позволяет наблюдать в окуляр 1 сильно увеличенный профиль неровностей и, измеряя их с помощью шкал окулярного микрометра, определять Ra и Rz.
С помощью двухлучевого интерферометра (рис. 2.33, б) измеряют разность длин путей двух пучков света, отраженных от разных участков исследуемой поверхности.
Оптический прибор, построенный по схеме, изображенной на рис. 2.33, в, реализует рефлектометрический метод измерения и автоматизирует процесс измерения, обеспечивая получение интегрального значения высоты неровностей.
